Thời ấy, chúa Nguyễn Ninh Vương rất quí mến đạo đức của Sư, thường mời vào
cung đàm đạo, nhưng Sư vẫn từ chối không vào.
Mùa xuân năm Nhâm Tuất (1742), Sư lại dự lễ giới đàn ở chùa Viên Thông. Cuối
mùa thu năm ấy, Sư có chút bệnh, gọi môn đồ đến dạy rằng:
- Nhân duyên ta đã hết, ta sắp đi đây.
Môn đồ kêu khóc ầm lên. Sư lại bảo:
- Các ngươi kêu khóc mà làm gì? Chư Phật ra đời còn nhập Niết-bàn; nay ta đi lại
rõ ràng, về ắt có chỗ, các ngươi không nên khóc lóc và đừng buồn thảm lắm.
Cuối tháng hai năm Quí Hợi (1743), trước mấy ngày tịch, Sư ngồi dậy vững vàng,
tự cầm bút viết bài kệ từ biệt rằng:
Hơn bảy mươi năm ở cõi này,
Không không sắc sắc thảy dung thông
Hôm nay nguyện mãn về quê cũ
Nào phải bôn ba hỏi Tổ tông.
(Thất thập dư niên thế giới trung
Không không sắc sắc diệc dung thông
Kim triêu nguyện mãn hoàn gia lý
Hà tất bôn man vấn tổ tông.)
Đến ngày 22 tháng 2, buổi sáng, sau khi dùng trà cùng các đồ đệ hầu chuyện và
làm lễ xong, Sư hỏi giờ gì, các môn đồ thưa: “Giờ Mùi”, Sư liền vui vẻ thị tịch.
Vua nghe tin, sắc ban bia ký và tứ hiệu là Đạo Hạnh thụy Chánh Giác Viên Ngộ
hòa thượng.
Sư là Tổ khai sơn chùa Thiên Thai Thiền Tông ở Huế. Sư có bài kệ pháp phái
rằng:
Thật tế đại đạo
Tánh hải thanh trừng
Tâm nguyên quảng nhuận
Đức bổn từ phong.
Giới định phước tuệ
Thể dụng viên thông
Vĩnh siêu trí quả
Mật khế thành công.
Truyền trì diệu lý
Diễn sướng chánh tông
Hạnh giải tương ưng
Đạt ngộ chân không.
Tăng đồ và tín đồ miền Trung và miền Nam hiện nay hầu hết là thuộc dòng Lâm
Tế, mà người có công khai hóa hơn hết chính là Sư. Vì thế mà thành một nhánh lớn gọi là
Liễu Quán. Sư là Sư tổ trong phái này.